Триботехническое материаловедение и триботехнология - Денисова В. А.
Основными задачами просвечивающей РЭМ являются:
-
анализ элементарных дефектов кристаллического строения
(дислокаций, дислокационных петель, дефектов упаковки), а также сложных
дефектов и дефектов объемного характера (двойники, границы зерен и т .д.);
-
анализ в гетерогенных сплавах частиц и различных
включений, в том числе выделяющихся в материалах, подвергнутых, например,
старению, облучению, отжигу.
Электронная
оже-спектороскопия - один из наиболее перспективных методов анализа
химического состава поверхностей твердых тел. Сочетая на одном приборе РЭМ и
ЭОС, можно получать информацию как о структуре, так и о химическом составе
материала с очень высокой локальностью по глубине.
Оже-эффект был открыт в
1925г. Пьером Оже. Он связан с ионизацией атома вследствие соударения
первичного электрона с электроном на одной из внутренних оболочек атома (К, Ь, М...), на которой
возникает вакансия. В результате этого происходит оже-переход с выходом
оже-электрона в вакуум, где он регистрируется с помощью электронного
спектрометра.
Так как величина энергии
оже-электрона, определяемая внутриатомными процессами (а оже-переходы
осуществляются между строго определенными энергетическими уровнями),
непосредственно связана со значениями энергий связей электрона на оболочках
атома, то она характеризует его атомный номер 2.
Следовательно, регистрируя значения энергий оже-электронов, эмитируемых атомами
при их возбуждении, и сравнивая эти значения с табличными, возможно определение
2, т.е химическую природу атомов. В настоящее время существует несколько
экспериментально полученных оже-спекторов, что позволяет в большинстве случаев
легко связать обнаруженные оже-пики в электронных спектрах исследуемых
материалов и элементов, входящих в них.
99 
