Применение тлеющего разряда в текстильной и строительное промышленности - М.В. Акулова
Неполимеризующая плазма. В качестве плазмообразующих,
используются различные комбинации инертных газов (аргон, неон, гелий) и
молекулярных газов (азот, водород, воздух, кислород) или разнообразные
химические соединения, не приводящие к образованию полимеров.
Полимеризующая плазма, содержащая, по
крайней мере, один тип органического соединения, который может быть осажден в
виде полимера.
Плазменная система представляет собой
частично ионизированный газ, стационарное состояние которого поддерживается за
счет энергии внешнего электромагнитного поля. Электроны, перенося энергию поля
к тяжелым частицам, расходуют свою энергию в результате упругих и неупругих
соударений с тяжелыми частицами. Часть этих соударений приводит к образованию
химически активных частиц (свободные радикалы, атомы, ионы, электронно-
возбужденные молекулы) [21]. Воздействие активных частиц и квантов ультрафиолетового
излучения на контактирующую с плазмой поверхность может привести к образованию
активных поверхностных состояний, способных к дальнейшим химическим воздействиям.
Это алкильные, фторалкильные, перекисные и другие радикалы на поверхности полимеров
или дефекты поверхностного слоя кристаллической решетки.
Однако существует мнение, что в связи с малой массой
возможно глубокое проникновение электрона в структуру модифицируемого
материала и в результате должно наблюдаться значительное ухудшение
физико-химических свойств материала. Так как этого не происходит, то более
вероятными кажутся предположения, что активация материала протекает под
действием ионов или возбужденных молекул и атомов, или
ультрафиолетового излучения, или всех частиц одновременно [23].
7 
