Применение тлеющего разряда в текстильной и строительное промышленности - М.В. Акулова
Круг процессов, происходящих в
газоразрядной плазме, не ограничивается приведенными выше простейшими схемами:
он широк и многообразен. Изучению этих процессов посвящено большое число
исследований [14-19].
Суть происходящих явлений, вызывающих
модификацию материалов и приводящих к улучшению их технологических и потребительских
свойств заключается в следующем. В ионизированном газе наблюдается широкий
спектр процессов, активными участниками которых являются ускоренные электроны,
концентрация которых составляет 10 - 10 см , а кинетическая температура 10 -10
К, кванты резонансного излучения (УФ, у и рентгеновское излучение), заряженные
частицы, нейтральные атомы и молекулы в различных электронно-возбужденных
состояниях, свободные радикалы, а также различные кластеры, являющиеся
нейтральными или заряженными многочастичными образованиями, возникающими за
счет сил межмолеку- лярного взаимодействия.
Невысокая эффективность передачи
кинетической энергии от электронов к тяжелым частицам при их столкновении
обуславливает важнейшую особенность «холодной» неравновесной плазмы и, прежде
всего, плазмы низкого давления - большой, достигающий двух порядков величины,
отрыв средней энергии электронов от энергии тяжелых частиц. Поэтому ионная
температура на два порядка меньше электронной и близка к температуре окружающей
среды.
Совокупность разнообразных по химической
активности, энергии и проникающей способности частиц делает низкотемпературную
плазму мощным инструментом модификации свойств материалов, сочетающим в себе
элементы как химических, так и физических факторов воздействия.
По химическому составу газовой фазы плазму
можно разделить на две основные категории [9, 20].