Применение тлеющего разряда в текстильной и строительное промышленности - М.В. Акулова
1.3. Описание установок плазмохимических
реакторов низкого
давления для обработки материалов
При рассмотрении типов газовых разрядов,
которые могут быть использованы в отделочном производстве для модифицирования
свойств материалов или для интенсификации технологических процессов отделки
нельзя обойти вниманием такие виды разрядов, возбуждаемых в
плазменно-растворных системах, как разряды с электролитными электродами,
горящие в воздушном промежутке, и разряды, целиком сосредоточенные в объеме
жидкости. К первому относится тлеющий разряд, ко второму - диафрагменный.
Общим для плазменно-растворных разрядов является наличие двух источников
активных частиц: зона плазмы и поверхностный слой раствора.
Учитывая особенности возбуждения и технологические
эффекты различных разрядов, для обработки строительных и текстильных
материалов используют классическую низкотемпературную плазму газового тлеющего
разряда [24,25].
1.3.1. Установки для
обработки малоразмерных изделий
Первыми широко используемыми для обработки
изделий плазмохимическими реакторами были реакторы периодического действия,
использующие высокочастотный разряд с индукционным возбуждением (частоты до 1
МГц). Эти реакторы разработаны на основе микроволнового разряда. В них можно
использовать зону потокового послесвечения, позволяющую проводить более мягкую
обработку изделия, где основными обрабатываемыми объектами были кремниевые
пластины. Эти конструкции реакторов позволяют проводить обработку небольших
изделий из пластмасс. Некоторые схемы таких установок различных конструкций
приведены на рис. 1.4 и 1.5 [1].